China Producători de echipamente cu film subțire de evaporare a arcului Fabrica de furnizori

Prezentare generală a produsului

Sistemul de evaporare cu arc catodic industrial este o platformă de depunere fizică de vapori (PVD) de calitate-producție, concepută pentru a depune acoperiri dure-rezistente la uzură, la coroziune-și cu frecare redusă-. Prin folosirea arcurilor electrice de joasă-tensiune,-curenți înalți, țintele catodice solide sunt vaporizate și ionizate instantaneu la locul catodului, generând plasmă metalică puternic ionizată.

Proiectat și fabricat conform standardelor de management al calității ISO 9001 și directivelor de conformitate CE, acest sistem este configurat pentru operațiuni de acoperire cu randament ridicat-în sectoarele de producție de scule, componente auto și hardware industrial. Configurațiile standard integrează configurații cu mai multe-catozi cu direcție independentă-de câmp magnetic, surse de alimentare programabile cu polarizare DC/pulsată și control automat al vidului pentru a menține stoichiometria filmului consistentă și microstructurile dense.

Sistem de film subțire de evaporare cu arc
Sistemul de film subțire de evaporare cu arc catodic industrial este conceput pentru depunerea cu viteză înaltă de-acoperiri metalice, aliaje și ceramice dense, puternic aderente. Funcționând...
Vedeți mai multe
Echipament PVD de evaporare cu arc
Sistemul PVD de evaporare cu arc catodic industrial utilizează arcuri electrice de joasă-tensiune și curent-înalt pentru a vaporiza ținte cu catod solid într-un mediu de vid. Acest mecanism...
Vedeți mai multe
Sistem de film subțire cu arc de vid
Sistemul de film subțire cu arc industrial de vid utilizează evaporarea cu arc catodic pentru a depune pelicule subțiri metalice, aliaje și ceramice dense, foarte aderente. Un arc de -curent...
Vedeți mai multe
Echipament cu film subțire cu arc catodic
Sistem de depunere fizică de vapori (PVD) care utilizează arcuri electrice localizate de joasă-tensiune, curent-înalt pentru a vaporiza ținte cu catod solid în plasmă complet ionizată. Rata...
Vedeți mai multe
Echipament de depunere prin evaporare cu arc
Platformă de depunere fizică de vapori (PVD) industrială concepută pentru sinteza-înaltă a acoperirilor dure dense, rezistente-la uzură și funcționale. Susținerea unei descărcări cu arc catodic...
Vedeți mai multe
Echipament cu film subțire de evaporare cu arc
Acest sistem de evaporare cu arc catodic vaporizează ținte catodice solide printr-un arc electric de -tensiune joasă, curent ridicat- pentru a genera plasmă metalică complet ionizată. În...
Vedeți mai multe

Specificatii tehnice

Parametru	Gama de specificații / Configurație standard
Dimensiunile camerei	Diametru: 800 mm - 1800 mm (dispoziții verticale/orizontale personalizabile)
Materialul camerei	Oțel inoxidabil SUS304 cu pereți dubli-cu canale interne de răcire a apei-
Presiune maximă de vid	<= 5.0 x 10^-4 Pa (Achieved via roots blower and molecular/oil diffusion pump groups)
Configurația catodului	4 până la 12 surse de arc dreptunghiular/circular cu direcție electromagnetică
Alimentare cu arc	300A - 500Un curent constant reglabil, ondulație<= 2%
Puterea de polarizare a substratului	0 până la -1000 V reglabil, frecvență de polarizare pulsată 10 kHz - 100 kHz
Sistem de incalzire	Sistem de încălzire radiantă, temperatură maximă 600 de grade +/- 5 grade uniformitate
Rotirea piesei de prelucrat	Rotație planetară sau dublă-axă condusă de trecerea fluidului magnetic
Sistem de control	PLC + PC industrial, control automat al secvenței bazat pe rețetă-
Cerințe de utilitate	Apa de racire: 0,25-0,35 MPa, 20-25 grade; Putere: 380V/480V, trifazat, 50/60 Hz

Procesul de evaporare cu arc

Ciclul de depunere funcționează sub control procedural strict pentru a garanta integritatea filmului și aderența interfeței:

Evacuare și degazare:

Camera de vid este pompată până la presiunea de bază. Substraturile sunt încălzite sub vid pentru a elimina substanțele volatile de suprafață și umiditatea reziduală.

Gravare cu plasmă (curățare):

Bombardarea cu ioni metalici (folosind surse țintă de titan sau crom) curăță suprafața substratului la nivel atomic, îndepărtând oxizii nativi și activând interfața.

Depunere reactivă:

Gazele reactive (N2, CH4, O2) sunt injectate în cameră prin intermediul regulatoarelor de flux de masă (MFC) pentru a reacționa cu fluxul de plasmă metalică (de exemplu, Ti, Cr, AlTi), formând filme compuse precum TiN, TiAlN sau CrN.

Răcire și aerisire:

Răcirea post-depunere are loc în atmosferă protectoare de gaz inert înainte de aerisirea camerei și recuperarea pieselor.

Materiale și substraturi de film

Ținte catodice acceptate
Titan (Ti) și titan aluminiu (TiAl):Materiale de bază pentru TiN standard și acoperiri TiAlN cu-oxidare-înaltă rezistență (rezistând la oxidare până la 900 de grade).

Crom (Cr):Folosit pentru finisaje decorative și straturi CrN/CrC rezistente la coroziune{0}}.

Zirconiu (Zr) și titan siliciu (TiSi):Aplicat pentru folii nanocompozite decorative specializate și rezistente la uzură{0}}extremă.

Materiale suport compatibile
Oțel-de mare viteză (HSS):Burghie elicoidale, freze, plite și broșe.

Carbure cimentate (WC-Co):Inserții indexabile, alezoare și matrițe de formare.

Oțeluri și aliaje de inginerie:Componente de supape auto, angrenaje, feronerie sanitară din oțel inoxidabil și implanturi medicale din titan.

Aplicații și impact asupra performanței

Instrumente de tăiere a metalelor:

Depunerea de acoperiri TiAlN și AlCrN pe inserții din carbură și freze de capăt, prelungind durata de viață a sculei cu 200% până la 300% și permițând prelucrarea uscată cu viteză mare-.

Matrice de formare și ștanțare:

Aplicarea de acoperiri dense, cu frecare redusă-pentru a reduce uzura adezivului, uzura și lipirea piesei de prelucrat în timpul ambutisării adânci, reducând timpul de oprire cu până la 40%.

Grup de propulsie auto:

Tratarea segmentelor de piston, a știfturilor de injecție de combustibil și a tacheților pentru a minimiza coeficientul de frecare la limită până la < 0,15 și pentru a preveni uzura prin uzură.

Feronerie industrială și robinet sanitar:

Straturi PVD decorative dure (aur TiN, aur roz, zirconiu negru) care trec un test de pulverizare cu sare neutră de minim 500 de ore (ASTM B117).

Personalizare și configurare a procesului

Dispozițiile echipamentelor se scalează în funcție de volumul de producție, geometria piesei și amprenta fabricii:

Geometria camerei:

Structuri verticale de încărcare pentru unelte grele; configurații de lot orizontale pentru încărcare de-dispozitive de înaltă capacitate.

Integrarea sursei:

Configurații hibride care combină surse de arc catodic cu catozi de pulverizare cu magnetron neechilibrat (RMS) pentru a depune arhitecturi multistrat netede, fără picături-.

Sisteme de filtrare:

Filtre opționale de macroparticule magnetice (filtre cu arc direcționat) instalate pe canalele catodice pentru a elimina macro-picăturile pentru acoperiri funcționale optice sau ultra-netede.

Interfata de automatizare:

Pregătit pentru integrare-pentru brațe de încărcare robotizate și pentru montarea loturilor pentru vehicule cu ghidare automată (AGV).

Producție și control al calității

Integritate structurală:Corpurile camerelor sunt supuse testării scurgerilor cu spectrometrul de masă cu heliu la un prag de sensibilitate de<= 1 x 10^-9 Pa*m3/s prior to assembly.

Siguranță și conformitate electrică:Construit strict conform normelor CE și IEC privind siguranța electrică, cu testare completă a izolației și interblocări de siguranță în caz de urgență.

Oprire-funcțională (FAT):Each system undergoes a 72-hour continuous dry-run test and a full-process thermal deposition test in our factory. Coating thickness uniformity (+/- 5%) and adhesion (Scratch Tester critical load Lc >= 40 N / indentarea Rockwell HF1-HF2) sunt verificate pe cupoane de testare standard înainte de expediere.

Instalare și suport tehnic

Pachet de pregătire a site-ului:

Desene cuprinzătoare ale structurii utilităților care detaliază debitele de apă de răcire, ventilația de evacuare, capacitatea de încărcare a podelei și specificațiile privind căderea electrică, furnizate la 4 săptămâni după-contract.

Punerea în funcțiune pe-site:

Inginerii de proces-certificati din fabrică se ocupă de alinierea mecanică, detectarea scurgerilor de vid, integrarea electrică și configurarea inițială a rețetei de bază la unitatea clientului.

Procesați transferul rețetei:

Livrarea include rețete standard de bază (TiN, TiAlN, CrN) și instruire operațională pentru echipele interne de întreținere și inginerie.

Suport pentru diagnosticare la distanță:

Sisteme echipate cu gateway-uri de router industriale securizate pentru depanarea parametrilor de la distanță și diagnosticarea logicii PLC.

FAQ

Î: Cum controlează sistemul generarea de macroparticule (picături) inerentă evaporării arcului?

R: Echipamentul utilizează bobine de direcție reglabile ale câmpului magnetic pentru a muta rapid punctul arcului catodic pe suprafața țintă, reducând timpul de rezidență și ejectarea picăturilor. Pentru aplicațiile care necesită finisaje ultra-netede, modulele opționale cu arc filtrat deviază magnetic plasma metalică departe de macroparticule înainte de a ajunge la substrat.

Î: Care este rata de utilizare țintă tipică pentru configurația standard a catodului?

R: Catozii circulari și dreptunghiulari standard ating o rată de utilizare a materialului țintă de 40% până la 55%, în funcție de profilul câmpului magnetic și grosimea țintei. Înlocuirea țintei este asigurată mecanic cu mecanisme-de prindere rapide pentru a minimiza timpul de întreținere.

Î: Acest echipament poate fi integrat într-o linie de producție automată existentă?

A: Da. Arhitectura de control PLC acceptă protocoale de comunicație SECS/GEM și handshaking I/O digital standard pentru integrare cu linii automate de pre-curățare și celule de încărcare robotizate.

Î: Care este timpul standard de livrare pentru o configurație personalizată a camerei?

R: Sistemele verticale standard de lot necesită 16 până la 22 de săptămâni de la aprobarea desenului până la testarea de acceptare din fabrică (FAT), în funcție de specificațiile personalizate ale grupului de pompare și aranjamentele de alimentare.

Suntem bine-cunoscuți ca unul dintre cei mai importanți producători și furnizori de echipamente cu film subțire pentru evaporare cu arc din China. Dacă intenționați să cumpărați echipamente personalizate cu film subțire de evaporare cu arc fabricate în China, bine ați venit să obțineți lista de prețuri de la fabrica noastră. Pentru consultanță de preț, contactați-ne.