China Multi-Arc Ion Subțire Film Echipament Producători Fabrica Furnizori Fabrica

Prezentare generală a produsului

Echipament industrial de placare cu ioni multi-arc conceput pentru aplicarea de acoperiri dure, filme funcționale și finisaje decorative PVD pe componente de precizie. Folosind o descărcare cu arc de vid-înaltă, de joasă-tensiune, sistemul vaporizează direct materialele țintă solide (Ti, Cr, Al, Zr). Atunci când este combinat cu gaze reactive (N2, O2, C2H2), sintetizează nitrururile dense ale metalelor de tranziție, carburile și oxizii direct pe substraturi metalice.

Construită pe o arhitectură modulară a camerei de vid, această soluție PVD la cheie se potrivește la diferite scări de producție-de la procesarea în loturi de cercetare și dezvoltare până la producția automată,-inline cu randament ridicat. Sistemul este optimizat pentru utilizare țintă ridicată și cost total de proprietate (TCO) scăzut în medii industriale continue 24/7.

Echipament de depunere în vid cu mai multe-arc
Acest sistem de depunere în vid cu mai multe-arc folosește tehnologia de placare cu ioni cu arc catodic pentru a depune acoperiri dure dense, de-înaltă aderență pe substraturi metalice și...
Vedeți mai multe
Sistem de depunere de ioni multi-Arc
The Multi-Arc Ion Deposition System performs industrial-scale cathodic arc evaporation for hard, wear-resistant, and low-friction thin films. The process achieves >Ionizare de 80% a materialului...
Vedeți mai multe
Echipament cu film subțire PVD cu arc multi-
Sistemul industrial Multi-Arc PVD utilizează depunerea fizică de vapori cu arc catodic cu ionizare înaltă-pentru a depune acoperiri dure dense, stoechiometrice (cum ar fi TiN, TiAlN, CrN și DLC)...
Vedeți mai multe
Echipament de depunere de ioni cu arc multi-
Sistemul industrial de depunere de ioni multi-Arc generează pelicule subțiri dense, de-aderență ridicată prin evaporarea arcului catodic de-curenți înalți, de joasă-tensiune. Materialele țintă...
Vedeți mai multe
Sistem multi-Arc Ion Thin Film System
Sistemul industrial cu film subțire cu ioni multi-Arc utilizează evaporarea cu arc catodic pentru a depune acoperiri ceramice și metalice dense, cu-aderență ridicată pe substraturi metalice și...
Vedeți mai multe
Echipament cu film subțire cu arc multi-Ion
Acest sistem de placare cu ioni multi-arc utilizează evaporarea cu arc catodic pentru a depune acoperiri dure dense, cu-aderență ridicată și pelicule subțiri funcționale. Prin lovirea unui arc...
Vedeți mai multe

Specificatii tehnice

Parametru	Gama de specificații	Unitate / Notă
Dimensiunile camerei	Ф600 x 600 până la Ф1500 x 1800	mm (Configurații personalizate verticale sau orizontale)
Presiune maximă de vid	<= 5.0 x 10^-4	Pa (pompa uscata + Turbo-molecular / set de difuzie a uleiului)
Surse de arc catodic	4 până la 16 unități	Surse de arc electromagnetic orientate sau filtrate (FCA)
Puterea de polarizare a substratului	0 până la -1000	V (Capacități avansate de polarizare DC/MF)
Temperatura de încălzire	Temperatura camerei la 600	C (încălzitoare radiante controlate PID)
Uniformitatea depunerii	<= +/- 5%	Măsurat prin XRF în zona de lucru efectivă
Sistem de control	PLC + PC industrial	Execuție automată a rețetei, înregistrarea datelor SCADA
Siguranță și conformitate	CE, ISO 9001	Carcase electrice conforme UL-disponibile la cerere

Procesul de depunere de ioni multi-arc

Secvența fizică de depunere de vapori funcționează pe un flux de lucru automatizat strict, în buclă închisă-pentru a asigura repetabilitatea lot-la-:

Evacuare și degazare:

Camera de vid este pompată până la o presiune de bază de<= 5.0 x 10^-3 Pa, while substrate temperatures are ramped to eliminate surface volatiles.

Gravare cu plasmă (bombardament):

Se introduce gaz argon. Pe suportul substratului se aplică o influență negativă ridicată, generând ioni de Ar care bombardează suprafața pentru a elimina oxizii nativi și micro-contaminanții.

Evaporarea arcului și ionizarea:

Curentul de arc DC lovește catodul metalic solid. Punctul catodic local atinge o densitate de energie extremă, vaporizând instantaneu materialul țintă într-un flux de plasmă cu densitate mare-(rata de ionizare > 80%).

Depunere reactivă:

Gazele reactive sunt injectate în fluxul de plasmă la presiuni parțiale controlate cu precizie prin intermediul Mass Flow Controllers (MFC), formând pelicule compuse stoichiometrice pe substraturi rotative.

Răcire și aerisire:

Răcirea controlată are loc sub protecție cu gaz inert înainte de aerisirea camerei, prevenind oxidarea pieselor proaspăt acoperite.

Materiale de film și proprietăți de acoperire

Sistemul acceptă aranjamente multi-catodice metalice, permițând arhitecturi monostrat, multistrat, nano-compozit și gradient de film:

TiN (nitrură de titan):

Acoperire standard aurie; duritate 2200–2400 HV; coeficient de frecare 0,4. Utilizare primară: scule de tăiere generale și piese mecanice de uzură.

TiAlN (nitrură de titan și aluminiu):

Rezistență la oxidare la temperatură înaltă de până la 850 C; duritate 3000–3300 HV. Utilizare principală: inserții de prelucrare uscată cu viteză mare-și supape de motor.

CrN / CrAlN (nitrură de crom):

Rezistență excelentă la coroziune și stres intern scăzut; proprietăți anti-gripând împotriva metalelor neferoase. Utilizare principală: matrițe de formare, segmente de piston și componente de mașini textile.

ZrN / TiCN:

Rugozitate scăzută a suprafeței (Ra<= 0.05 um); decorative stability and biocompatibility. Primary use: medical surgical instruments and premium sanitary hardware.

Aplicații

Instrumente de tăiere de precizie:

Freze, burghie, plite și plăcuțe indexabile care necesită o durată de viață extinsă a sculei la sarcini termice mari.

Grup de propulsie auto:

Știfturi de piston, tacheți, componente de injecție de combustibil și suprafețe ale angrenajului care necesită frecare la limită redusă și rezistență la uzură.

Matrite si matrite:

Matrite de injecție din plastic, matrițe de ștanțare și inserții de turnare sub presiune-care necesită rezistență la uzura adezivului și la oboseala termică.

Componente aerospațiale:

Paletele turbinei și elementele de fixare din titan care funcționează în medii agresive, corozive și cu stres ridicat{0}.

Personalizare și configurare a sistemului

Articolele standard de catalog rareori se potrivesc perfect cu aspectul fabricii dedicate. Configurațiile echipamentelor sunt adaptate pe baza geometriei componentelor specifice, a obiectivelor de timp ciclului și a constrângerilor instalației:

Geometria camerei:

Camere octogonale sau cilindrice din oțel inoxidabil (SUS304/SUS316L) cu cămașe de răcire cu apă-pereți dubli-.

Aspect sursă:

Side-mounted or bottom-driven arc sources with magnetic steering coils to minimize macroparticle generation and ensure high cathode utilization (>60%).

Fixare pentru substrat:

Mecanisme de rotație planetară (3-axe) sau cu o singură rotație conduse de fluxuri de fluid magnetic pentru a garanta acoperirea uniformă a acoperirii pe geometrii 3D complexe.

Opțiuni de pompare:

Suflante pentru rădăcini, pompe cu palete rotative, pompe criogenice sau pompe turbomoleculare configurate pentru a îndeplini timpii stricte de ciclu de pompare-în jos.

Controlul calității și protocoalele de testare

Fiecare mașină este supusă testării stricte de acceptare din fabrică (FAT) înainte de expediere, documentată pentru examinarea cumpărătorului:

Test de integritate în vid:

Detectarea scurgerilor de heliu utilizând spectrometria de masă (rata de scurgere<= 1 x 10^-10 Pa*m3/s).

Siguranța electrică și arderea-în:

Funcționare uscată continuă de 72 de ore a surselor de alimentare, blocaje de răcire cu apă și logica de automatizare a PLC.

Verificarea acoperirii (laborator intern):

Eșantionări testate prin testul Calo-(grosimea filmului), indentație Rockwell (rezistență de aderență) și nanoindentație (duritate).

Instalare, punere în funcțiune și asistență tehnică

Ghid de pregătire a site-ului:

Desene detaliate ale utilităților furnizate pentru debitul/presiunea apei de răcire, aer comprimat, ventilație de evacuare și cerințele pentru barele colectoare electrice.

SAT și punere în funcțiune:

Instalare-la fața locului (testare de acceptare a site-ului), calibrare în vid și predare de bază a rețetei executate de ingineri seniori de proces PVD.

Instruire de proces:

Instruirea practică-operatorului care acoperă programele de înlocuire a catodului, întreținerea preventivă a vidului, depanarea și optimizarea de bază a rețetelor.

Suport pentru piese de schimb:

Componente critice de uzură (catozi, scuturi, izolatori și etanșări) stocate pentru expediere globală în 48 de ore.

Întrebări frecvente

Î: Cum suprimați macroparticulele (picăturile) inerente în placarea cu ioni multi-arc?

R: Utilizăm câmpuri de direcție magnetice reglabile combinate cu forme de undă optimizate ale curentului de arc pentru a stabiliza punctele catodice și a reduce emisia de picături. Pentru aplicații optice sau medicale ultra-netede, sistemul poate fi integrat cu surse cu arc catodic filtrat (FCA).

Î: Care este timpul de răspuns tipic pentru o configurație personalizată a camerei?

R: Configurațiile standard sunt livrate în 16 până la 20 de săptămâni. Dimensiunile camerei complet personalizate, interfețele automate de încărcare robotizate sau sistemele specializate de pompare criogenică necesită 24 până la 30 de săptămâni de la aprobarea desenului P&ID.

Î: Sistemul poate stoca mai multe rețete de acoperire pentru diferite familii de piese?

A: Da. Sistemul de control PLC industrial stochează până la 100 de rețete de proces individuale. Acest lucru permite execuția automată, cu o singură atingere-pentru controlerele debitului de masă de gaz (MFC), creșterea tensiunii de polarizare, secvențierea curentului de arc și timpi de pas specifici.

Suntem bine-cunoscuți ca unul dintre cei mai importanți producători și furnizori de echipamente cu film subțire cu arc multi-ioni din China. Dacă intenționați să cumpărați echipamente personalizate cu film subțire multi-ioni cu arc realizat în China, bine ați venit să obțineți lista de prețuri de la fabrica noastră. Pentru consultanță de preț, contactați-ne.