Prezentare generală a produsului
Echipamentul pentru peliculă subțire compozită PVD este o platformă industrială de depunere în vid concepută pentru depunerea de filme subțiri multi-strat, aliaj și nanocompozit. Integrând pulverizarea cu magnetron și sursele de arc catodic într-o singură cameră de vid, sistemul permite controlul precis asupra microstructurii filmului, a tensiunii reziduale și a aderenței interfațale. Construită pentru producție continuă și cercetare și dezvoltare avansată, platforma găzduiește substraturi metalice, ceramice și polimerice cu geometrii de cameră scalabile.
-
![Echipament de depunere sub vid compozit PVD]()
Echipament de depunere sub vid compozit PVDAceastă platformă industrială de depunere în vid compozită PVD integrează mai multe tehnici de depunere într-un mediu cu o singură cameră pentru a depune pelicule subțiri uniforme, cu mai...Vedeți mai multe -
![Sistem hibrid de depunere a filmului subțire PVD]()
Sistem hibrid de depunere a filmului subțire PVDSistemul hibrid de depunere a filmului subțire PVD integrează evaporarea termică, evaporarea fasciculului de electroni (fascicul e{0}}) și pulverizarea magnetronului RF/DC într-o singură...Vedeți mai multe -
![Echipament cu film subțire pentru procese multiple PVD]()
Echipament cu film subțire pentru procese multiple PVDEchipamentul PVD cu film subțire cu mai multe procese- este o platformă integrată de depunere în vid, concepută pentru a combina mai multe tehnici de fabricare a peliculei subțiri-, inclusiv...Vedeți mai multe -
![Echipament de depunere compozite PVD]()
Echipament de depunere compozite PVDEchipamentul industrial de depunere a compozitelor PVD este proiectat pentru fabricarea de filme subțiri din mai multe-componente, multi{-strat și nano-compozit-. Sistemul integrează evaporarea...Vedeți mai multe -
![Sistem de film subțire compozit PVD]()
Sistem de film subțire compozit PVDSistem de acoperire cu vid de calitate industrială-care integrează pulverizarea cu magnetron (RF/DC/HiPIMS) și evaporarea cu arc catodic. Proiectat pentru depunerea continuă, cu mai multe...Vedeți mai multe -
![Echipament cu film subțire compozit PVD]()
Echipament cu film subțire compozit PVDEchipamentul pentru film subțire compozit PVD este o platformă industrială de vid concepută pentru a sintetiza mai multe-strat, aliaje și pelicule subțiri gradate. Construit pe o arhitectură...Vedeți mai multe
Specificatii tehnice
|
Parametru |
Gama de specificații |
|
Presiune maximă de vid |
<= 5.0 x 10^-5 Pa (Cryogenic/Turbomolecular pumping suite) |
|
Presiune de lucru |
0,1 Pa - 5.0 Pa |
|
Temperatura substratului |
Ambient la 800 de grade (controlat PID-în buclă închisă) |
|
Surse de depunere |
Configurabil: pulverizare cu magnetron DC/RF, DC pulsat, arc catodic filtrat |
|
Uniformitatea grosimii |
< +/- 3% across standard 300 mm substrate carrier |
|
Materialul camerei |
Oțel inoxidabil 304L/316L, șlefuit mecanic și electro-lustruit (Ra<= 0.4 um) |
|
Integrarea sursei de alimentare |
Generatoare MF (10-100 kHz), generatoare RF (13,56 MHz), polarizare DC pulsată |
|
Sistem de control |
PLC industrial + IPC cu execuție automată a rețetei, monitorizare interblocare și înregistrare a datelor pe lot |
Procesul de depunere compozit
Sistemul utilizează o arhitectură fizică hibridă de depunere de vapori care combină pulverizarea cu magnetron și tehnologiile cu arc catodic.
Sinergie multi-surse:
Funcționarea simultană sau secvențială a mai multor catozi permite tranziții compoziționale abrupte sau gradate de-a lungul stivei de film.
Pre{0}}curățare gravare ionică:
Etapele de curățare cu plasmă RF sau DC îndepărtează oxizii nativi și contaminanții de suprafață înainte de depunere pentru a maximiza acoperirea-la-aderența substratului.
Controlul depunerii reactiv:
Spectroscopia de emisie optică-în buclă închisă (OES) reglează injecția de gaz reactiv (O2, N2, C2H2) pentru a menține stoichiometria stabilă a compusului și pentru a preveni intoxicația țintei.
Deplasarea substratului:
Sursele de alimentare cu polarizare în impulsuri sincronizate bombardează filmul în creștere cu ioni de-energie mare, densificând microstructura și adaptând stresul de compresiune rezidual.
Materiale de film
Echipamentul acceptă un spectru larg de materiale țintă pentru cerințe funcționale personalizate:
Nitruri și carburi ale metalelor de tranziție:
TiN, TiAlN, CrN, ZrN, TiCN pentru rezistență la uzură și coroziune.
Sisteme nanocompozite și multistrat:
TiSiN, AlTiSiN, nanostraturi metalice/ceramice pentru duritate extremă și stabilitate termică la temperatură înaltă{0}.
Oxizi conductivi transparenti (TCO):
ITO, AZO, IGZO pentru aplicații optoelectronice și fotovoltaice.
Metale pure și aliaje:
Ti, Cr, Al, Cu, oțel inoxidabil, NiCr pentru contactul electric și straturile de barieră de difuzie.
Aplicații
Instrumente de tăiere de precizie:
Depunerea de acoperiri super-duri, cu frecare redusă-(de exemplu, TiAlN) pe inserții din carbură, burghie și freze-pentru a prelungi durata de viață operațională la sarcini termice mari.
Componente auto:
Folii de-reducere a frecării și{1}}rezistente la uzură pe segmentele pistonului, piesele de injecție de combustibil și ansamblurile de angrenaje.
Optoelectronice și afișaje:
Straturi de oxid conductiv cu-rezistivitate scăzută,-transmisie ridicată pentru panouri tactile și substraturi pentru celule solare.
Dispozitive medicale:
Acoperiri biocompatibile și rezistente la uzură-pe instrumentele chirurgicale și implanturile ortopedice.
Personalizare și configurare a sistemului
Configurațiile tehnice sunt adaptate la constrângerile specifice unității de producție și la rețetele de proces:
Dimensiunea camerei:
Opțiuni cu camere cilindrice sau dreptunghiulare, de la sisteme de loturi de cercetare și dezvoltare (500 mm diametru) până la sisteme de blocare-la scară largă de producție-(1000 mm+).
01
Selecția suitei de pompare:
Potrivire suflante rădăcini, pompe turbomoleculare și pompe criogenice pe baza timpilor de oprire-pompa și a profilurilor de încărcare a gazului necesar.
02
Fixare pentru substrat:
Etape personalizate de rotație planetară, rotație satelit pe 3-axe sau module roll-to-roll concepute pentru geometrii 3D complexe sau benzi continue.
03
Nivel de automatizare:
Configurații de încărcare manuală semi-sau sisteme de transfer în vid complet automatizate cu manipulare robotizată a substratului.
04
Producție și control al calității
Detectarea scurgerilor:
Fiecare cameră de vid este supusă testării de scurgere cu spectrometrul de masă cu heliu la un prag de < 1 x 10^-10 Pa * m^3 / s.
Inspecția sudurii:
Sudurile laterale cu vid-sunt sudate TIG, șlefuite și lustruite, urmate de inspecție cu raze X-sau penetrant colorant, la cerere.
Conformitate în domeniul electric și al siguranței:
Panouri de control construite în conformitate cu standardele NFPA 79 sau CE/IEC, cu interblocări hardware pentru debitul de apă, presiunea gazului și siguranța electrică.
Testare de acceptare din fabrică (FAT):
Testarea pre-expediere include cicluri de funcționare uscată continuă de-72-ore, verificarea performanței în vid și testarea depunerii acoperirii folosind rețete specificate de client.
Ghid de pregătire a site-ului:Document cuprinzător privind cerințele instalației furnizat care detaliază interfețele de utilități (debit/presiunea apei de răcire, sarcină electrică, aer comprimat, evacuare).
Punerea în funcțiune pe-site:Inginerii de service pe teren execută alinierea mecanică, verificările scurgerilor de vid, legăturile electrice{0}}și calibrarea inițială.
Procesați reglarea rețetei:-Colaborare la fața locului cu metalurgiști clienți și ingineri de proces pentru a bloca parametrii de grosime, tensiuni și duritate a filmului țintă.
Suport pentru ciclul de viață:Interfață de diagnosticare la distanță, inventar localizat de piese de schimb și programe de întreținere preventivă programate.
FAQ
Suntem bine-cunoscuți ca unul dintre cei mai importanți producători și furnizori de echipamente de film subțire compozit pvd din China. Dacă intenționați să cumpărați echipamente de film subțire compozit pvd personalizate fabricate în China, bine ați venit să obțineți lista de prețuri din fabrica noastră. Pentru consultanță de preț, contactați-ne.
