Echipament de gravură uscată

Echipament de gravură uscatăeste o soluție de înaltă performanță pentru procesarea materialelor de precizie în diverse industrii. Utilizarea avansatăGravură cu ioni reactivi (RIE)Tehnologie, acest echipament obține gravură fără contact, fără reziduuri, fără substanțe chimice lichide, ceea ce o face ideală pentru aplicații care necesită precizie la nivel micron și respectarea mediului.

Capacitate de gravură anisotropă

• Sistemul combină reacții chimice (specii activate cu plasmă) cu bombardarea ionilor direcționali, permițând profiluri precise de gravură verticală. Acest lucru este esențial pentru crearea de microstructuri pe metale (de exemplu, oțel inoxidabil, aliaje de titan), ceramică (al₂o₃, sic) și polimeri (PEEK, PTFE).
• Gravarea uniformitățiieste menținută în ± 5% pe substraturi cu diametrul de până la 800 mm, chiar și pentru geometrii complexe.

Proiectare modulară și scalabilitate

• Mai multe configurații sursă de ioni: Echipamentul acceptă surse ionice liniare, circulare sau cu radiofrecvență cuplată, permițând procesarea simultană a mai multor piese de lucru.
• Parametri de proces reglabili: Energia ionică (5 0 - 500 eV) și densitatea plasmatică (10¹⁰ - 10¹² cm⁻³) pot fi optimizate pentru a echilibra rata de gravare (până la 30 nm/min) și netezimea suprafeței (RA <0,1 μm).

Operațiune ecologică

• Zero deșeuri lichide: Spre deosebire de gravura umedă, procesul uscat elimină eliminarea chimică periculoasă.
• Proiectare eficientă din punct de vedere energetic”

Controlul îmbunătățit al procesului

• Monitorizare în timp real: Sistemul de control integrat bazat pe PC urmărește nivelurile de vid (presiunea de bază mai mică sau egală cu 5. 0 × 10⁻⁴ PA), debitele de gaz și stabilitatea fasciculului ionic.
• Protocoale automate de siguranță: Protecția supraîncărcării, suprimarea arcului și mecanismele de oprire de urgență asigură siguranța operațională.

Performanță pre și post-grație

• Pre-gravură: Suprafețele pot prezenta straturi de oxidare, reziduuri organice sau texturi inegale, care compromite aderența acoperirii sau performanța funcțională.
• Post-gravură: Se obține o suprafață curată, fără defecte, cu rugozitate controlată, îmbunătățind procesele ulterioare, cum ar fi acoperirea PVD, lipirea sau imprimarea.

• Optică: Gravarea microstructurilor anti-reflectoare pe lentile și panouri de afișare.
• Instrumente de precizie: Texturarea suprafeței de unelte și matrițe pentru a îmbunătăți rezistența la uzură.
• Componente energetice noi: Structurarea electrozilor pentru sistemele de baterii și celule cu combustibil.