Echipament de gravat uscat

Echipament de gravat uscateste o soluție de-înaltă performanță pentru prelucrarea de precizie a materialelor în diverse industrii. Folosind avansategravare cu ioni reactivi (RIE)tehnologie, acest echipament realizează gravare fără-contact, fără reziduuri-, fără substanțe chimice lichide, ceea ce îl face ideal pentru aplicații care necesită precizie la nivel de-microni și respectarea mediului.

Capacitate de gravare anizotropă

• Sistemul combină reacții chimice (specii activate cu plasmă-) cu bombardarea direcțională cu ioni, permițând profiluri precise de gravare verticală. Acest lucru este esențial pentru crearea microstructurilor pe metale (de exemplu, oțel inoxidabil, aliaje de titan), ceramică (Al₂O₃, SiC) și polimeri (PEEK, PTFE).
• Uniformitate gravareeste menținută cu ±5% pe substraturi cu diametrul de până la 800 mm, chiar și pentru geometrii complexe.

Design modular și scalabilitate

• Configurații multiple de surse de ioni: echipamentul acceptă surse de ioni liniare, circulare sau{0}}cuplate cu radiofrecvență, permițând prelucrarea simultană a mai multor piese de prelucrat.
• Parametri de proces ajustabili: Energia ionică (50–500 eV) și densitatea plasmei (10¹⁰–10¹² cm⁻³) pot fi optimizate pentru a echilibra rata de gravare (până la 30 nm/min) și netezimea suprafeței (Ra < 0,1 μm).

Funcționare ecologică-

• Zero deșeuri lichide: Spre deosebire de gravarea umedă, procesul uscat elimină eliminarea substanțelor chimice periculoase.
• Design eficient-energetic: Consumul de energie de 10 kW este cu 30% mai mic decât sistemele tradiționale, cu disiparea căldurii gestionată printr-un sistem de răcire cu apă pură în buclă închisă (debit mai mare sau egal cu 4 m³/h).

Control îmbunătățit al procesului

• Monitorizare-în timp real: Sistemul de control integrat bazat pe PC- urmărește nivelurile de vid (presiune de bază Mai mică sau egală cu 5,0×10⁻⁴ Pa), debitele de gaz și stabilitatea fasciculului de ioni.
• Protocoale automate de siguranță: Protecția la suprasarcină, suprimarea arcului electric și mecanismele de oprire de urgență asigură siguranța operațională.

Performanță pre- și post-gravare

• Pre-gravare: Suprafețele pot prezenta straturi de oxidare, reziduuri organice sau texturi neuniforme, care compromit aderența stratului de acoperire sau performanța funcțională.
• Postare-gravare: Se obține o suprafață curată, fără defecte-, cu rugozitate controlată, îmbunătățind procesele ulterioare, cum ar fi acoperirea PVD, lipirea sau imprimarea.

• Optica: Gravarea microstructurilor anti-reflexive pe lentile și panouri de afișare.
• Instrumente de precizie: Texturarea suprafeței sculelor și matrițelor pentru a îmbunătăți rezistența la uzură.
• Componente energetice noi: Electrozi de structurare pentru sisteme de baterii și celule de combustibil.