Echipament cu film subțire cu evaporare asistată-ionului

Sistem de evaporare asistată de ioni-de grad industrial- care integrează evaporarea cu fascicul de electroni-cu mai multe buzunar cu o sursă de fascicul de ioni energetic (configurație End-Hall sau Kaufman). Bombardamentul cu ioni-în timp real transferă impulsul cinetic la adatomii în condensare, suprimând creșterea granulelor colonare și conducând densitatea de împachetare-filmului subțire către valorile materialelor în vrac.

Configurat pentru procesarea în loturi pe dispozitive de rotație planetară sub automatizare duală-PLC. Aplicațiile de bază includ acoperiri cu interferență optică cu prag-laser-de deteriorare-înalt (LIDT), stive dense de filtre dielectrice și straturi de protecție durabile.

Bombardarea ionică energetică:Transferul de impuls-în timp real elimină microgolurile, stabilizând indicii de refracție împotriva modificărilor spectrale-induse de umiditate.

Sângerarea gazelor reactive:Injecția controlată cu presiune parțială a O2 sau N2 compensează deficiența de oxigen în timpul depunerii de oxid/nitrur, îndepărtând benzile de absorbție sub-oxidului.

Deck sursă modulară:Înlocuirea grilei sursei de ioni în stil casetă-și buzunarele interschimbabile pentru fascicul E{-reduc timpul de recuperare-la-aiului din cameră la sub 2 ore.

Integritatea vidului:Flanșele ISO/CF etanșate-metal și Viton-sigilate cu robinete pneumatice previn contaminarea-încrucișată între loturi.

Pachet de degroșare:Suflantă pentru rădăcini susținută de palete rotative sau pompe mecanice cu spirală ermetice-fără ulei.

Pompă de-vacuum mare:Cryogenic pump (cryopump) or magnetically levitated turbomolecular pump (air throughput >= 2200 L/s).

Măsurarea presiunii:Combinație Pirani și indicatori de ionizare cu catod fierbinte-pentru înregistrarea continuă de la atmosferă la vid înalt.

Reglarea presiunii de proces:Manometrul de capacitate cu buclă închisă-acționează o supapă de accelerație fluture automată în timpul injecției de gaz.

Materiale de evaporare:
Oxizi:SiO2, Ta2O5, TiO2, Nb2O5, HfO2
Fluoruri:MgF2, LaF3
Metale:Au, Ag, Al, Cr, Ti

Materiale suport:
Sticlă optică (BK7, silice topită, cuarț)

Plachete semiconductoare (siliciu, arseniură de galiu)

Cristale (LiNbO3, Safir, YAG)

Geometria dispozitivului:Cuști cu rotație planetară personalizate, dispozitive de fixare cu dom și suporturi plate-plate concepute pentru volume specifice de loturi.

Filtre de interferență laser:Filtre de bandă îngustă și de margine care necesită rapoarte de extincție cu adâncime de blocare > OD6 la 1064 nm.

Acoperiri anti-reflexive (AR):Acoperiri cu mai multe-straturi AR de bandă largă pentru ferestre cu laser de mare-putere și optica camerei.

Oglinzi de suprafață frontală:Reflectoare metalice cu dispersie redusă-protejate cu straturi dielectrice dure pentru instrumente aerospațiale și de apărare.

Straturi dielectrice semiconductoare:Depunerea filmului dielectric pasiv și izolator pe substraturi-sensibile la temperatură.

Dimensiunea camerei:Diametrele interne scalate de la 700 mm la 1300 mm.

Integrarea sursei:Configurații duble E-, surse de rezistență termică sau configurații de co-depunere.

Nivel de automatizare:Încărcare manuală semi-sau manipulare robotizată complet integrată a substratului cu blocare-de încărcare.

Conformitate:Panouri electrice CE, UL/CSA și pachete de conformitate cu siguranță SEMI S2/S8.

Detectarea scurgerilor:Testarea scurgerilor de heliu cu spectrometru de masă a tuturor camerelor și etanșărilor la < 1 x 10^-10 Pa*m^3/s.

Inspecție dimensională:Verificarea CMM a flanșelor de montare interioară și profilometria optică care confirmă rugozitatea peretelui camerei (Ra<= 0.4 um).

Arde-în testare:Test de funcționare uscată continuă de 72-ore-a pompelor de vid, a surselor de alimentare de înaltă tensiune și a buclelor de interblocare PLC.

Testarea de acceptare a procesului (FAT):Execuție de acoperire de referință care verifică stabilitatea ratei de depunere și țintele indicelui de refracție în funcție de criteriile pre-acordate.

-Instrucțiuni înainte de instalare:Desenele de amenajare care acoperă apa rece, ventilația de evacuare, sarcinile electrice și capacitatea de greutate a podelei.

Punerea în funcțiune pe-site:Execuția de inginerie pe teren a alinierii mecanice, verificări de scurgeri, conectări la utilitate și testare SAT comună.

Instruire de proces:Instruire pentru operator și întreținere care acoperă programarea rețetelor, întreținerea sursei de ioni și regenerarea pompei.

Suport pentru ciclul de viață:Integrarea interfeței de diagnosticare la distanță și gestionarea stocului de piese de schimb localizate.